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常温常压下氢气是一种无色无味极烧且难溶于水的气体。氢气的密度为0.089g/l(101.325kpa,0°c),只有空气的1/14,是上已知的密度小的气体。高纯氢气需要在特殊的储存设备中进行储存,以---气体的纯度和不受污染。常见的储存方式包括---、液态储罐和气体管道系统。在半导体制造领域,高纯氢气被用作制造硅晶圆的工艺气体。它可以用于清洗和退火,以---半导体器件的和稳定性。高纯氢气还可以用于制造光刻胶、蚀刻和沉积等工艺步骤。
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